装卸方式 晶圆/承载环手动放置与取出;
防静电控制 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;
半自动晶圆贴膜机(切割膜)规格参数:
晶圆直径 4”&5”,6”&8”;
晶圆厚度 150~750微米;
膜种类 蓝膜或者UV膜;
宽度:210~300毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
手动仿形切割,室温至150℃加热刀片,温
度可以设定,平边及圆边一次切割完成