装卸方式 晶圆/承载环手动放置与取出;
防静电控制 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;
产品特点:
Ø 适用于蓝膜、UV膜、PET衬底膜及其它单/双层膜。
Ø 适应MODTF2系列框架。
Ø 工作盘采用进口加热系统。
Ø 工作盘高度可调整,适应不同厚度产品。
Ø 配备7英寸全彩色触摸屏,工作参数和错误报警信息一目了然。
Ø 一键式启动执行全自动工作流程。
贴膜原理
橡皮轮自动滚压,滚轮压力可调,手动拉膜,
手动移动贴膜机构,贴膜后,滚轮自动抬起
电源电压 单相交流电220V,6A;
压缩空气 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺;